용액 및 기상 증착 전구체

용액 공정, 화학 기상 증착(CVD), 금속-유기 화학 기상 증착(MOVCVD) 및 원자층 증착(ALD) 응용 분야를 위해 특별히 설계된 광범위한 고순도 무기 및 유기 금속 화학 물질을 제공합니다. 당사의 재료는 순도가 99%에서 99.9999%에 이르는 고품질입니다. 다양한 증착 전구체는 벤치 규모 실험, 파일럿 규모 프로젝트 또는 제조 등 모든 연구 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 당사의 포괄적인 포트폴리오에는 다음이 포함됩니다:

용액 증착 전구체

일반적으로 솔-젤 전구체라고 불리는 용액 증착 전구체의 응용 분야는 다양한 화학 공정을 포함하도록 크게 확장되었습니다. 이 방법은 이제 금속 산화물, 나노 구조, 고밀도 세라믹 또는 유리, 전구체 용액에서 파생된 박막을 포함한 고체 물질을 생성하는 것으로 광범위하게 정의됩니다. 당사의 용액 증착 전구체는 미량 금속 불순물을 세심하게 제어하여 탁월한 일관성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 최종 재료의 원하는 특성과 기능을 달성하기 위해서는 솔-젤 전구체의 고순도를 유지하는 것이 중요하다는 것을 잘 알고 있습니다.

55가지의 다양한 비금속을 제공합니다.

• 99.9%에서 99.999%에 이르는 초고순도 미량 금속으로 탁월한 연구 성과를 제공합니다.
• 아세테이트, 아세틸아세토네이트, 테트-부톡사이드, 이소프로폭사이드, 페녹사이드, 에톡사이드, 트리-세크-부톡사이드, 메톡사이드, 2-에틸헥사노에이트 등의 기능성을 사용할 수 있습니다.
• 다양한 용도에 맞춘 포괄적인 사양으로 일관된 품질 제공
• 적절한 용매에 대한 용해도가 높아 졸-겔 공정에서 균질한 용액을 쉽게 생성할 수 있습니다.

화학 기상 증착(CVD)/원자층 증착(ALD)

원자층 증착(ALD) 및 화학 기상 증착(CVD) 전구체는 나노미터 두께의 금속, 반도체 및 절연 재료 층을 제조하는 데 중추적인 역할을 합니다. 이러한 공정은 첨단 전자제품, 효율적인 태양광 패널, 메모리 장치, 컴퓨터 칩 및 다양한 고성능 애플리케이션에 필수적입니다.

고품질 박막을 생산하려면 CVD 및 ALD에 적합한 전구체를 선택하는 것이 필수적이라는 것을 잘 알고 있습니다. 전구체의 화학적 특성은 필름의 구성, 구조 및 기능에 영향을 미칩니다. 순도, 휘발성, 열 안정성, 기판 표면과의 반응성과 같은 중요한 요소는 필름의 결정성, 두께 및 표면 형태에 영향을 미치므로 신중하게 평가해야 합니다.

이러한 요구를 해결하기 위해 머크는 필름 특성에 부정적인 영향을 미칠 수 있는 불순물을 최소화하도록 설계된 고순도 전구체(99%~99.999% 미량 금속 기준)를 제공합니다. 당사의 전구체는 증착 온도에서 열적으로 안정적이고 기판과 반응하도록 제조되어 최적의 필름 증착을 보장합니다. 이러한 우수한 재료 품질을 바탕으로 고객의 특정 연구 및 응용 분야 요구 사항을 지원하여 정밀하고 고품질의 박막을 얻을 수 있도록 최선을 다하고 있습니다.

증착 시스템용 전구체

머크는 다양한 증착 시스템과의 호환성을 보장하기 위해 견고한 스틸 실린더에 안전하고 편리하게 사전 포장된 고품질 ALD 전구체를 제공합니다. 각 실린더에는 정밀 밸브가 장착되어 있어 증착 챔버로의 재료 흐름을 제어할 수 있으므로 운영 효율성과 안전성이 향상됩니다.