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ヘキサクロロジシラン
96%
別名:
1,1,1,2,2,2-ヘキサクロロジシラン, HCDS, 六塩化二ケイ素
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この商品について
化学式:
(SiCl3)2
CAS番号:
分子量:
268.89
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
236-704-1
MDL number:
assay
96%
form
liquid
refractive index
n20/D 1.475 (lit.)
bp
144-145.5 °C (lit.)
density
1.562 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES string
Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl
InChI
1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
InChI key
LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N
General description
ヘキサクロロジシラン（HCDS）は、ジシランを製造するための前駆体として使用されるクロロシランです。HCDSは、シリコン膜および窒化ケイ素に基づく膜の製造に使用される脱酸剤です。
Application
還元剤として使用される場合があります。化学気相成長（CVD）法により、アンモニアと組み合わせて窒化ケイ素を生成できます。
HCDSは、化学気相成長（CVD）により、カプセル化剤や断熱材として使用可能なシリカエアロゲルの製造に使用できます。また、CVDを用いて1,1,1,2,2,2-ヘキサアミノジシランを合成するためにも使用できます。これは、マイクロエレクトロニクスに基づくアプリケーション用のシリコン系膜を生成します。
signalword
Danger
hcodes
Hazard Classifications
Skin Corr. 1B
supp_hazards
保管分類
8A - Combustible corrosive hazardous materials
wgk
WGK 3
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
ppe
Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter