553468
トリス(tert-ブトキシ)シラノール
99.999%
別名:
TBS
ログインで組織・契約価格をご覧ください。
サイズを選択してください
表示を変更する
この商品について
化学式:
((CH3)3CO)3SiOH
CAS番号:
分子量:
264.43
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
MDL number:
assay
99.999%
form
solid
bp
205-210 °C (lit.)
mp
63-65 °C (lit.)
SMILES string
CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C
InChI
1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3
InChI key
HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N
General description
トリス(tert-ブトキシ)シラノールは、さまざまな金属アルキルアミドと反応して、金属ケイ酸塩の蒸着のための前駆体としての役割を果たすことができます。また、シリカの沈着のための前駆体としても適しています。
Application
トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、ケイ酸ハフニウムガラス膜の気相体積のためにテトラキス(ジメチルアミノ)-ハフニウム蒸気（Hf(N(CH3)2)4）と反応します。 トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、非晶質の二酸化ケイ素と酸化アルミニウムのナノ積層のコンフォーマル性（密着度）の高い層の原子層堆積（ALD）に使用されます。
Still not finding the right product?
Explore all of our products under トリス(tert-ブトキシ)シラノール
保管分類
11 - Combustible Solids
wgk
WGK 3
flash_point_f
Not applicable
flash_point_c
Not applicable
ppe
Eyeshields, Gloves, type N95 (US)
資料
半導体デバイス作製に非常に重要な材料である窒化シリコン（SiNx）のALD用前駆体化合物について解説いただきました。
一置換および二置換アルコキシシロキサンから合成された融解ゲルは、生物医学、電子工学、光電子工学などへの応用が期待されています。
Hybrid organic-inorganic sol-gel materials containing silica were first called “ORMOSILs” in 1984.