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この商品について
grade
deposition grade
vapor density
>1 (vs air)
assay
≥98%
form
liquid
refractive index
n20/D 1.461 (lit.)
bp
112-113 °C/10 mmHg (lit.)
density
0.996 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES string
CCO[Si](OCC)(OCC)c1ccccc1
InChI
1S/C12H20O3Si/c1-4-13-16(14-5-2,15-6-3)12-10-8-7-9-11-12/h7-11H,4-6H2,1-3H3
InChI key
JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N
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signalword
Warning
hcodes
Hazard Classifications
Aquatic Chronic 3 - Flam. Liq. 3 - STOT RE 2 Oral
target_organs
Urinary bladder
保管分類
3 - Flammable liquids
wgk
WGK 3
flash_point_f
128.3 °F - closed cup
flash_point_c
53.5 °C - closed cup
ppe
Eyeshields, Faceshields, Gloves, type ABEK (EN14387) respirator filter
適用法令
試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。
第4類:引火性液体 + 第二石油類 + 危険等級III + 非水溶性液体
fsl
679291-50G: + 679291-BULK: + 679291-VAR:
jan
資料
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半導体デバイス作製に非常に重要な材料である窒化シリコン(SiNx)のALD用前駆体化合物について解説いただきました。
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