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Merck

759562

トリス(ジメチルアミノ)シラン

packaged for use in deposition systems

別名:

トリス(ジメチルアミノ)シラン, (Me2N)3SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, トリス(ジメチルアミド)シラン, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, TDMAS

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この商品について

化学式:
((CH3)2N)3SiH
CAS番号:
分子量:
161.32
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
239-165-0
MDL number:
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Quality Level

assay

≥99.9% (GC)

form

liquid

bp

142 °C (lit.)

mp

−90 °C (lit.)

density

0.838 g/mL at 25 °C (lit.)

SMILES string

CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C

InChI

1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3

InChI key

TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N

General description

トリス(ジメチルアミノ)シランは、揮発性が高く熱安定性に優れた有機シリコン化合物で、太陽電池、燃料電池触媒、半導体など、さまざまな用途のシリコン含有薄膜を製造するための蒸着前駆物質として広く使用されています。蒸着は、低い基板温度(<150)で行うことができます。TDMAS の融点と蒸気圧は適切な動作範囲内にあるため、非常に優れた蒸着前駆物質となっています。

Application

トリス(ジメチルアミノ)シランは次の用途に使用できます。
  • 原子層堆積法による色素増感太陽電池の TiO2 アノードへのアルミニウムケイ酸塩を堆積するためのシリコン源。
  • Li イオン電池用の機能化された Si 強化セパレーターを製造するための前駆体。



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signalword

Danger

supp_hazards

保管分類

4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water

wgk

WGK 3

flash_point_f

16.0 - 32.0 °F - closed cup

flash_point_c

-8.89 - 0.00 °C - closed cup

Hazard Classifications

Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2


適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

第4類:引火性液体 + 第一石油類 + 危険等級II + 非水溶性液体

fsl

759562-VAR: + 759562-25G: + 759562-BULK:

jan



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試験成績書(COA)

Lot/Batch Number

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資料

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Boudreau; M.; Boumerzoug; M.; Mascher; P.; Jessop; P. E.
Applied Physics Letters, 63, 3014-3014 (1993)
Hirose; F.; Kinoshita; Y.; Shibuya; S.; et al
Thin Solid Films, 519, 270-270 (2011)
B Ballantyne et al.
Toxicology and industrial health, 5(1), 45-54 (1989-01-01)
The acute handling hazards of tris(dimethylamino)silane [TDMAS] were investigated. The acute male rat peroral LD50 (with 95% confidence limits) was 0.71 (0.51-0.97) ml/kg, and the acute male rabbit percutaneous LD50 was 0.57 (0.35-0.92) ml/kg. The liquid was severely irritating to